Перераспределение примесей в процессе термического окисления кремния: по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1970 гг. / А. В. Колосовский
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Колосовский, А. В. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
Физические характеристики: |
51, [1] с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 6 |
00000cam2a22000003is4500 | |||
001 | BY-NLB-br0001377206 | ||
005 | 20170415133452.0 | ||
100 | # | # | $a 20170415d1971 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
105 | # | # | $a a ||||000yy |
200 | 1 | # | $a Перераспределение примесей в процессе термического окисления кремния $e по материалам отечественной и зарубежной печати за 1960―1970 гг. $f А. В. Колосовский |
210 | # | # | $a Москва $c ЦНИИ "Электроника" $d 1971 |
215 | # | # | $a 51, [1] с. $c ил. $d 21 см |
225 | 1 | # | $a Обзоры по электронной технике $i Серия: Полупроводниковые приборы $f Министерство электронной промышленности СССР $v 1971, вып. 6 |
320 | # | # | $a Библиография: с. 50―51 (15 назв.) |
345 | # | # | $9 1100 экз. |
461 | # | 1 | $1 001BY-NLB-br78453 $1 2001 $v 1971, вып. 6 |
700 | # | 1 | $a Колосовский $b А. В. $g Анатолий Валентинович |
801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20170415 $g psbo |