Легированные эпитаксиальные пленки кремния / А. М. Полянский
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Полянский, А. М. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1968 |
| Физические характеристики: |
39, [2] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1968, вып. 50 |
1968, Вып.50: Легированные эпитаксиальные пленки... / Полянский А. М.. — (Серия "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника")
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||