Легированные эпитаксиальные пленки кремния / А. М. Полянский

Сохранено в:
Шифр документа: 95372-50,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Полянский, А. М.
Опубликовано: Москва : Институт "Электроника" , 1968
Физические характеристики: 39, [2] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1968, вып. 50
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001377189
005 20170622152844.0
100 # # $a 20170415d1968 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Легированные эпитаксиальные пленки кремния  $f А. М. Полянский 
210 # # $a Москва  $c Институт "Электроника"  $d 1968 
215 # # $a 39, [2] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы и микроэлектроника  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1968, вып. 50 
320 # # $a Библиография: с. 39―40 (50 назв.) 
345 # # $9 1100 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0001378091  $1 2001   $v 1968, вып. 50 
700 # 1 $a Полянский  $b А. М.  $g Александр Митрофанович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170622  $g psbo