Измерение малых расходов газов при производстве изделий микроэлектроники: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1985 гг.) / Р. Н. Каратаев, Н. А. Пулина, В. Б. Лысов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каратаев, Р. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
43 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 1 |
Загрузка