|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001377031 |
| 005 |
20170414143257.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170414d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Измерение малых расходов газов при производстве изделий микроэлектроники
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1985 гг.)
$f Р. Н. Каратаев, Н. А. Пулина, В. Б. Лысов
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 43 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 8
$i Управление качеством, метрология, стандартизация, испытания
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1988, вып. 1
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 40―43 (56 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1900 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000429881
$1 2001
$v 1988, вып. 1
|
| 700 |
# |
1 |
$a Каратаев
$b Р. Н.
$g Робиндар Николаевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Пулина
$b Н. А.
$g Наталья Николаевна
|
| 701 |
# |
1 |
$a Лысов
$b В. Б.
$g Валерий Борисович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170414
$g psbo
|
