Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках / Ю. П. Докучаев, И. И. Разгуляев

Сохранено в:
Шифр документа: 126483-22,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Докучаев, Ю. П.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974
Физические характеристики: 54 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1974, вып. 11
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001376555
005 20170413153248.0
100 # # $a 20170413d1974 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Использование метода каналирования для исследования поверхностных ионнолегированных слоев в полупроводниках  $f Ю. П. Докучаев, И. И. Разгуляев  $g [редактор Е. С. Корякина] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1974 
215 # # $a 54 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1974, вып. 11 
320 # # $a Библиография: с. 49―53 (88 назв.) 
345 # # $9 1750 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1974, вып. 11 
700 # 1 $a Докучаев  $b Ю. П. 
701 # 1 $a Разгуляев  $b И. И. 
702 # 1 $a Корякина  $b Е. С.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170413  $g psbo