Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч. 1: (реферативно-аналитический обзор) / А. В. Бакун, В. В. Щеглова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бакун, А. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974 |
| Физические характеристики: |
47, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1974, вып. 4 |
Загрузка