|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001376496 |
| 005 |
20170413145331.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170413d1974 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов. Ч. 1
$e (реферативно-аналитический обзор)
$f А. В. Бакун, В. В. Щеглова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1974
|
| 215 |
# |
# |
$a 47, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1974, вып. 4
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 45―47 (41 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1650 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1974, вып. 4
|
| 700 |
# |
1 |
$a Бакун
$b А. В.
$g Анатолий Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Щеглова
$b В. В.
$g Валентина Викторовна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170413
$g psbo
|
