Проекционная электронная литография: (аналитический обзор по материалам зарубежной научно-технической информации на конец 1972 г.) / В. М. Сутырин, Х. И. Фейгин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сутырин, В. М. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Физические характеристики: |
59 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 10 |
Загрузка