О новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / В. В. Щеглова, В. И. Мякиненков
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Щеглова, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
86, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 10 |
Загрузка