О новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем / В. В. Щеглова, В. И. Мякиненков

Сохранено в:
Шифр документа: 110737-24,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Щеглова, В. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971
Физические характеристики: 86, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1971, вып. 10
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001376342
005 20170413131801.0
100 # # $a 20170413d1971 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a О новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем  $f В. В. Щеглова, В. И. Мякиненков 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1971 
215 # # $a 86, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1971, вып. 10 
320 # # $a Библиография: с. 76―86 (184 назв.) 
345 # # $9 1600 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1971, вып. 10 
700 # 1 $a Щеглова  $b В. В.  $g Валентина Викторовна 
701 # 1 $a Мякиненков  $b В. И.  $g Вячеслав Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170413  $g psbo