Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: (аналитический обзор по материалам зарубежной научно-технической литературы за 1966―1969 гг.) / Л. Я. Глазштейн, Ф. П. Пресс
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Глазштейн, Л. Я. |
| Опубликовано: | Москва : Институт "Электроника" , 1970 |
| Физические характеристики: |
105, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1970, вып. 2 |
Загрузка