|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001376264 |
| 005 |
20170413114851.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170413d1970 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Проекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем
$e (аналитический обзор по материалам зарубежной научно-технической литературы за 1966―1969 гг.)
$f Л. Я. Глазштейн, Ф. П. Пресс
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Институт "Электроника"
$d 1970
|
| 215 |
# |
# |
$a 105, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$i Серия: Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1970, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 102―105 (24 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1500 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1970, вып. 2
|
| 700 |
# |
1 |
$a Глазштейн
$b Л. Я.
$g Леонид Яковлевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Пресс
$b Ф. П.
$g Феликс Павлович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170413
$g psbo
|
