Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела: автореферат магистерской диссертации на соискание степени магистра техники и технологии: специальность 1-39 81 01
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Дятчик, А. Ю. |
| Опубликовано: | Минск , 2015 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |