Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (реферативно-аналитический обзор) / [Е. Е. Качурина, Л. Н. Немировский, В. В. Щеглова]
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Качурина, Е. Е.. |
| Wydane: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Opis fizyczny: |
66 с. : ил. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
1976, №9: Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||