Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (реферативно-аналитический обзор) / [Е. Е. Качурина, Л. Н. Немировский, В. В. Щеглова]
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Качурина, Е. Е.. |
| Published: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Physical Description: |
66 с. : ил. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
1976, №9: Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной...
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||