Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (реферативно-аналитический обзор) / [Е. Е. Качурина, Л. Н. Немировский, В. В. Щеглова]
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Качурина, Е. Е.. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
66 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
1976, №9: Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной...
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||