Газофазная эпитаксия и диффузия в электрическом поле / [Ю. Д. Чистяков, В. М. Гришин, Ю. П. Райнова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Чистяков, Ю. Д. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
39, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 5 |
Загрузка