Газофазная эпитаксия и диффузия в электрическом поле / [Ю. Д. Чистяков, В. М. Гришин, Ю. П. Райнова

Сохранено в:
Шифр документа: 152430-20,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Чистяков, Ю. Д.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976
Физические характеристики: 39, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1976, вып. 5
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375953
005 20170412144931.0
100 # # $a 20170412d1976 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Газофазная эпитаксия и диффузия в электрическом поле  $f [Ю. Д. Чистяков, В. М. Гришин, Ю. П. Райнова  $g научный редактор Н. Р. Аигина] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1976 
215 # # $a 39, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1976, вып. 5 
300 # # $a Авторы указаны на обложке 
320 # # $a Библиография: с. 39―40 (35 назв.) 
345 # # $9 2000 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1976, вып. 5 
700 # 1 $3 BY-RLST-ar451557  $a Чистяков  $b Ю. Д.  $g Юрий Дмитриевич 
701 # 1 $a Гришин  $b В. М.  $g Вячеслав Михайлович 
701 # 1 $a Райнова  $b Ю. П.  $g Юлия Петровна 
702 # 1 $a Аигина  $b Н. Р.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170403  $g psbo