Проекционная фотолитография в производстве БИС: (реферативный обзор) / [И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, Л. Я. Глазштейн]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Рубцов, И. Н. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1980 |
| Физические характеристики: |
73 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1980, вып. 2 |
Загрузка