Пленки окиси алюминия в производстве полупрводниковых приборов / З. П. Вишнякова [и др.]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Вишнякова, З. П. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 4 |
00000cam2a22000003is4500 | |||
001 | BY-NLB-br0001375697 | ||
005 | 20170412105326.0 | ||
100 | # | # | $a 20170412d1971 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
105 | # | # | $a a ||||000yy |
200 | 1 | # | $a Пленки окиси алюминия в производстве полупрводниковых приборов $f З. П. Вишнякова [и др.] |
210 | # | # | $a Москва $c ЦНИИ "Электроника" $d 1971 |
215 | # | # | $a 55 с. $c ил. $d 21 см |
225 | 1 | # | $a Обзоры по электронной технике $i Серия: Полупроводниковые приборы $f Министерство электронной промышленности СССР $v 1971, вып. 4 |
320 | # | # | $a Библиография: с. 52―55 (50 назв.) |
345 | # | # | $9 1600 экз. |
461 | # | 1 | $1 001BY-NLB-br78453 $1 2001 $v 1971, вып. 4 |
700 | # | 1 | $a Вишнякова $b З. П. $g Зоя Павловна |
801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20170403 $g psbo |