Пленки окиси алюминия в производстве полупрводниковых приборов / З. П. Вишнякова [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 110737-18,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Вишнякова, З. П.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971
Физические характеристики: 55 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1971, вып. 4
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375697
005 20170412105326.0
100 # # $a 20170412d1971 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Пленки окиси алюминия в производстве полупрводниковых приборов  $f З. П. Вишнякова [и др.] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1971 
215 # # $a 55 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1971, вып. 4 
320 # # $a Библиография: с. 52―55 (50 назв.) 
345 # # $9 1600 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1971, вып. 4 
700 # 1 $a Вишнякова  $b З. П.  $g Зоя Павловна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170403  $g psbo