Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1982 гг.) / О. П. Глудкин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Глудкин, О. П. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1983 |
| Физические характеристики: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1983, вып. 2 |
Загрузка