Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1982 гг.) / О. П. Глудкин

Сохранено в:
Шифр документа: 183998-2,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Глудкин, О. П.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1983
Физические характеристики: 56 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1983, вып. 2
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375590
005 20170412093533.0
100 # # $a 20170412d1983 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Электрические методы исследования дефектности тонких диэлектрических слоев  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1964―1982 гг.)  $f О. П. Глудкин  $g [научный редактор И. Н. Суслова] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1983 
215 # # $a 56 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1983, вып. 2 
320 # # $a Библиография: с. 51―56 (78 назв.) 
345 # # $9 1860 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1983, вып. 2 
700 # 1 $a Глудкин  $b О. П.  $g Олег Павлович 
702 # 1 $a Суслова  $b И. Н.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170412  $g psbo