Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / В. Ю. Васильев
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Васильев, В. Ю. |
| Published: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990 |
| Physical Description: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Language: | Russian |
| Series: |
Обзоры по электронной технике
1990, вып. 3 |
1990, №3: Модели и механизмы процессов осаждения... / Васильев В. Ю.
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||