Реактивное нанесение в вакууме слоев нитрида титана и применение их в системе контактной металлизации полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 гг.) / Л. А. Сейдман
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сейдман, Л. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
60 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 6 |
Загрузка