Методы и средства изучения температуры в полупроводниковом производстве: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 гг.) / О. С. Моряков, С. А. Вихров
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Моряков, О. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1987, вып. 4 |
Загрузка