Методы и средства изучения температуры в полупроводниковом производстве: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 гг.) / О. С. Моряков, С. А. Вихров

Сохранено в:
Шифр документа: 202823-4,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Моряков, О. С.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1987
Физические характеристики: 55 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1987, вып. 4
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375446
005 20170411154534.0
100 # # $a 20170411d1987 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Методы и средства изучения температуры в полупроводниковом производстве  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1979―1986 гг.)  $f О. С. Моряков, С. А. Вихров 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1987 
215 # # $a 55 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1987, вып. 4 
320 # # $a Библиография: с. 50―55 (99 назв.) 
345 # # $9 2110 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1987, вып. 4 
700 # 1 $a Моряков  $b О. С.  $g Олег Сергеевич 
701 # 1 $a Вихров  $b С. А.  $g Сергей Андреевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170410  $g psbo