Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.) / А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Карацюба, А. П. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
37 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 1 |
Загрузка