Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.) / А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Автор: Карацюба, А. П.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985
Физические характеристики: 37 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1985, вып. 1
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001375201
005 20170410152651.0
100 # # $a 20170410d1985 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Влияние термического окисления на образование дефектов структуры в монокристаллическом кремнии  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968―1984 гг.)  $f А. П. Карацюба, Т. М. Тимашева 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1985 
215 # # $a 37 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1985, вып. 1 
320 # # $a Библиография: с. 30―37 (92 назв.) 
345 # # $9 1960 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1985, вып. 1 
700 # 1 $a Карацюба  $b А. П.  $g Анатолий Прокофьевич 
701 # 1 $a Тимашева  $b Т. П.  $g Татьяна Петровна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170404  $g psbo