Совершенствование чистых производственных помещений для изготовления полупрводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1985―1988 гг.) / Ю. Л. Баранов, И. И. Круглов
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Баранов, Ю. Л. |
Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
Физические характеристики: |
58 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 1 |
1989, №1: Совершенствование чистых... / Баранов Ю. Л., Круглов И. И.
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|