Совершенствование чистых производственных помещений для изготовления полупрводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1985―1988 гг.) / Ю. Л. Баранов, И. И. Круглов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Баранов, Ю. Л. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989 |
| Физические характеристики: |
58 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1989, вып. 1 |
Загрузка