Совершенствование чистых производственных помещений для изготовления полупрводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1985―1988 гг.) / Ю. Л. Баранов, И. И. Круглов

Сохранено в:
Вид документа: Периодические издания
Автор: Баранов, Ю. Л.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1989
Физические характеристики: 58 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1989, вып. 1
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001374418
005 20170406141158.0
100 # # $a 20170406d1989 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Совершенствование чистых производственных помещений для изготовления полупрводниковых приборов  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1985―1988 гг.)  $f Ю. Л. Баранов, И. И. Круглов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1989 
215 # # $a 58 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1989, вып. 1 
320 # # $a Библиография: с. 55―58 (52 назв.) 
345 # # $9 1680 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1989, вып. 1 
700 # 1 $a Баранов  $b Ю. Л.  $g Юрий Леонидович 
701 # 1 $a Круглов  $b И. И.  $g Игорь Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170406  $g psbo