Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.) / В. В. Бачурин, В. В. Полехов, А. И. Пыхтунова
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Бачурин, В. В. |
| Publié: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Description matérielle: |
51 с. : ил. ; 21 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 3 |
1982, №3: Применение анизотропного травления кремния... / Бачурин В. В.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||