Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.) / В. В. Бачурин, В. В. Полехов, А. И. Пыхтунова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бачурин, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1982 |
| Физические характеристики: |
51 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1982, вып. 3 |
Загрузка