|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001373808 |
| 005 |
20170404144425.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20170404d1982 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Применение анизотропного травления кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1967―1981 гг.)
$f В. В. Бачурин, В. В. Полехов, А. И. Пыхтунова
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1982
|
| 215 |
# |
# |
$a 51 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 2
$i Полупроводниковые приборы
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1982, вып. 3
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 45―51 (91 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 1950 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78453
$1 2001
$v 1982, вып. 3
|
| 700 |
# |
1 |
$a Бачурин
$b В. В.
$g Виктор Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Полехов
$b В. В.
$g Владимир Владимирович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Пыхтунова
$b А. И.
$g Александра Ивановна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170404
$g psbo
|
