Метод многокристальной рентгеновской дифрактометрии в технологии контроля процессов изготовления ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / Ю. А. Матвеев, В. Е. Батурин, А. Г. Овденко

Сохранено в:
Шифр документа: 191242-7,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Матвеев, Ю. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984
Физические характеристики: 55 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1984, вып. 7
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001373800
005 20170404142903.0
100 # # $a 20170404d1984 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Метод многокристальной рентгеновской дифрактометрии в технологии контроля процессов изготовления ИЭТ  $e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.)  $f Ю. А. Матвеев, В. Е. Батурин, А. Г. Овденко  $g [научный редактор Г. Э. Корнильев] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1984 
215 # # $a 55 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1984, вып. 7 
320 # # $a Библиография: с. 49―55 (93 назв.) 
345 # # $9 1920 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1984, вып. 7 
700 # 1 $a Матвеев  $b Ю. А.  $g Юрий Александрович 
701 # 1 $a Батурин  $b В. Е.  $g Владимир Евстафьевич 
701 # 1 $a Овденко  $b А. Г.  $g Андрей Григорьевич 
702 # 1 $a Корнильев  $b Г. Э.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170404  $g psbo