Моделирование процессов осаждения диэлектрических слоев из газовой фазы при низком давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1983 годы) / [Л. Л. Васильева и др.]
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Васильева, Л. Л. |
| 出版: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| 實物描述: |
25 с. : ил. ; 21 см
|
| 語言: | Русский |
| 叢編: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 8 |
1984, №8: Моделирование процессов осаждения диэлектрических слоев...
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||