Моделирование процессов осаждения диэлектрических слоев из газовой фазы при низком давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1972―1983 годы) / [Л. Л. Васильева и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильева, Л. Л. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
25 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 8 |
Загрузка