Метод рентгеноэлектронной спектроскопии в технологии контроля процессов изготовления ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1970―1983 гг.) / Ю. А. Матвеев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Матвеев, Ю. А. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1984 |
| Физические характеристики: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1984, вып. 6 |
Загрузка