Имплантационное легирование полупроводников. Ч. 1 / В. В. Титов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Титов, В. В. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974 |
| Физические характеристики: |
61, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1974, вып. 10 |
Загрузка