Имплантационное легирование полупроводников. Ч. 1 / В. В. Титов

Сохранено в:
Шифр документа: 126483-21,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Титов, В. В.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1974
Физические характеристики: 61, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1974, вып. 10
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001373607
005 20170404094021.0
100 # # $a 20170404d1974 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Имплантационное легирование полупроводников. Ч. 1  $f В. В. Титов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1974 
215 # # $a 61, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 2  $i Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1974, вып. 10 
320 # # $a Библиография: с. 51―61 (152 назв.) 
345 # # $9 1755 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1974, вып. 10 
700 # 1 $3 BY-NLB-ar7877665  $a Титов  $b В. В.  $g Валентин Васильевич  $c доктор физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170404  $g psbo