Электронная литография: аналитический обзор: (по данным отечественной и зарубежной литературы за 1977―1980 гг.) / В. К. Попов, М. С. Виноградова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. К. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981 |
| Физические характеристики: |
54 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1981, вып. 11 |
Загрузка