Электронная литография: аналитический обзор: (по данным отечественной и зарубежной литературы за 1977―1980 гг.) / В. К. Попов, М. С. Виноградова

Сохранено в:
Шифр документа: 173730-11,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Попов, В. К.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1981
Физические характеристики: 54 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1981, вып. 11
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001368634
005 20170320154651.0
100 # # $a 20170320d1981 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Электронная литография  $e аналитический обзор  $e (по данным отечественной и зарубежной литературы за 1977―1980 гг.)  $f В. К. Попов, М. С. Виноградова  $g [научный редактор П. В. Невский] 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1981 
215 # # $a 54 с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $h Серия 1  $i Электроника СВЧ  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1981, вып. 11 
320 # # $a Библиография: с. 52―54 (39 назв.) 
345 # # $9 1200 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br0000420969  $1 2001   $v 1981, вып. 11 
700 # 1 $a Попов  $b В. К.  $g Виктор Кузьмич 
701 # 1 $a Виноградова  $b М. С.  $g Мария Сергеевна 
702 # 1 $a Невский  $b П. В.  $4 340 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170320  $g psbo