Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Матвеев Егор Владимирович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//209974(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Матвеев, Е. В.
Опубликовано: Москва , 2017
Физические характеристики: 24 с. : табл., ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001365717
005 20170630154655.0
100 # # $a 20170310d2017 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники  $f Матвеев Егор Владимирович  $g [Научно-исследовательский институт перспективных материалов и технологий] 
210 # # $a Москва  $d 2017 
215 # # $a 24 с.  $c табл., ил. 
320 # # $a Библиография: с. 23—24 (11 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39076  $a ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2643429  $a ДАТЧИКИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2482377  $a ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar26747  $a ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3324242  $a ЧИСЛЕННЫЕ РАСЧЕТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18108  $a РАСЧЕТА МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14364  $a КОНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МЕТОД  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 47.59.45  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.14.03  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar12080234  $a Матвеев  $b Е. В.  $g Егор Владимирович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170310  $g psbo