
Разработка процессов получения и исследование физико-химических свойств наноматериалов для электронной техники на основе оксидов титана и церия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Кравцов Александр Александрович
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Кравцов, А. А. |
Publié: | Новочеркасск , 2017 |
Description matérielle: |
19 с., включая обложку : ил.
|
Langue: | Русский |
Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|