Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Буй Тхань Хай

Сохранено в:
Шифр документа: 2//209358(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Буй, Т. Х.
Опубликовано: Таганрог , 2017
Физические характеристики: 20 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001358989
005 20170613165440.0
100 # # $a 20170214d2017 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Буй Тхань Хай  $g [Южный федеральный университет] 
210 # # $a Таганрог  $d 2017 
215 # # $a 20 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 19—20 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5961785  $a КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ-СТРУКТУРА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15677  $a ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar85368  $a ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5212187  $a ЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.35  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.01.77  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11946692  $a Буй  $b Т. Х.  $g Тхань Хай 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170214  $g psbo