Генерация и отжиг дефектов при совмещенном геттерировании в кремнии П-типа / Н. Т. Баграев, Л. Е. Клячкин, А. М. Маляренко и др.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Ленинград : ФТИ , 1990 |
| Физические характеристики: |
36 с. : ил. ; 20 см.
|
| Язык: | Английский |
| Серия: |
Препринт
№ 1493 |
| 00000cam0a22000003ib4500 | |||
| 001 | BY-NLB-br0001347460 | ||
| 005 | 20161229151547.0 | ||
| 010 | # | # | $d Б. ц. |
| 100 | # | # | $a 20161229d1990 |||||bel|50 ca |
| 101 | 0 | # | $a eng |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Генерация и отжиг дефектов при совмещенном геттерировании в кремнии П-типа $d Formation and annealing of defects in N-type silicon under combined gettering $f Н. Т. Баграев, Л. Е. Клячкин, А. М. Маляренко и др. |
| 210 | # | # | $a Ленинград $c ФТИ $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 36 с. $c ил. $d 20 см. |
| 225 | 1 | # | $a Препринт $f ФТИ $v № 1493 |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 35 - 36 (24 назв.); на англ. яз. |
| 345 | # | # | $9 200 экз. |
| 801 | # | 0 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20161229 $g psbo |