|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001337818 |
| 005 |
20170313134120.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20161122d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Закономерности химического осаждения слоев оксида никеля из гозовой фазы
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук
$e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
$f Кондратьева Анастасия Сергеевна
$g [Санкт-Петербургский политехнический университет им. Петра Великого]
|
| 210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 16 (5 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2064101
$a ОКСИДНЫЕ ПОКРЫТИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2635022
$a ОКСИД НИКЕЛЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar35865
$a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.23
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.13.21
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11508450
$a Кондратьева
$b А. С.
$g Анастасия Сергеевна
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161122
$g psbo
|
