|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001335830 |
| 005 |
20170327140113.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20161116d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Громов Александр Леонидович
$g [Южный федеральный университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Таганрог
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 21—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar9586265
$a МИКРОТЕХНОЛОГИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1811056
$a НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23904
$a ПОВЕРХНОСТИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2665900
$a НАНОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar26346
$a ПРОФИЛИРОВАНИЕ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36217
$a ФОКУСИРОВКА ЧАСТИЦ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12180
$a ИОННЫЕ ПУЧКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17280
$a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2644768
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.09.48
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22
$v 6
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11515628
$a Громов
$b А. Л.
$g Александр Леонидович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161116
$g psbo
|
