Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Гурин Сергей Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//206117(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Гурин, С. А.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2016
Физические характеристики: 21, [1] с. : цв. ил., ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001328441
005 20170203155729.0
100 # # $a 20161024d2016 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Гурин Сергей Александрович  $g [Пензенский государственный университет] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2016 
215 # # $a 21, [1] с.  $c цв. ил., ил. 
320 # # $a Библиография в конце текста. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2290523  $a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33306  $a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar5247846  $a ПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2420611  $a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar7368  $a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14222  $a КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6693761  $a ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34171  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33914  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 50.09.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33.37  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.09.53  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.11  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar11333310  $a Гурин  $b С. А.  $g Сергей Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20161024  $g psbo