|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
001 |
BY-NLB-br0001328441 |
005 |
20170203155729.0 |
100 |
# |
# |
$a 20161024d2016 k y0rusy50 ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
200 |
1 |
# |
$a Исследование и разработка тонкопленочных гетерогенных структур чувствительных элементов датчиков давлений с экстремальными условиями эксплуатации
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Гурин Сергей Александрович
$g [Пензенский государственный университет]
|
210 |
# |
# |
$a Санкт-Петербург
$d 2016
|
215 |
# |
# |
$a 21, [1] с.
$c цв. ил., ил.
|
320 |
# |
# |
$a Библиография в конце текста.
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2290523
$a ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33306
$a ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5247846
$a ПЛЕНОЧНЫЕ ДАТЧИКИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2420611
$a ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34175
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7368
$a ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar14222
$a КОМПОЗИЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6693761
$a ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33914
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
$2 DVNLB
|
686 |
# |
# |
$a 50.09.37
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.33.37
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.09.53
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar11333310
$a Гурин
$b С. А.
$g Сергей Александрович
|
801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161024
$g psbo
|